智能型圖形反轉系統 充氮氣圖像翻轉設備

智能型圖形反轉系統  充氮氣圖像翻轉設備用途： 

      光刻圖形反轉是一種特殊的工藝，用于制作?半導體器件。在曝光結束后，光刻膠中的圖像與想要得到的圖像是相反的，即曝光區域在顯影后會形成孔洞而不是島區。這種工藝主要用于制作孔洞結構，通過改變曝光區域和非曝光區域的相對分解率來實現。

   智能型圖形反轉系統適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

智能型圖形反轉系統特點：

NH3監測,報警提示功能

工藝數據記錄功能

程序鎖定保護等功能

智能型圖形反轉系統  充氮氣圖像翻轉設備技術性能：

1.尺寸（深*寬*高）

內腔尺寸：300×300×300

      450×450×450（mm）（可定制）

2. 材質：外箱采用優質冷軋板噴塑，內箱采用 316L 醫用級不銹鋼

3.溫度范圍：RT+50-200℃

4.溫度分辨率：0.1℃

5.溫度波動度：≤±0.5

6 真空度：≤133pa（1torr）

7.電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ，總功率約2.8KW

8.控制儀表：人機界面，一鍵運行

9.擱板層數：2 層

10.工藝氣體：2/3路

11.真空泵：無油渦旋真空泵

智能型圖形反轉真空系統工藝標準  

   圖形反轉工藝的主要步驟為將涂膠的晶圓放置在智能型圖形反轉真空系統中,穿透光刻膠，改變其極性。將再進行泛光曝光，從而完成整個圖形反轉工藝。反轉工藝的效果是改變曝光區域和非曝光區域的相對分解率，在接下來的顯影步驟便可以實現圖形反轉了。這一工藝可以實現與非圖形反轉工藝同樣的分辨率.