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      前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱 工業(yè)烘箱

      前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱 工業(yè)烘箱

      簡要描述:

      前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱優(yōu)化光刻膠的光學吸收特性,提高光刻膠對襯底的黏附性

      前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱用途

        前烘可在熱烘板或氮氣烘箱中進行,本課題采用的熱風烘箱為雋思氮氣潔凈烘箱,由于在鼓風烘箱中對流烘烤將會使前烘進行的更加均勻,所以在鼓風箱中前烘的效果將會更理想。

      前烘是在涂膠結束后進行,它的作用有以下幾個方面

      驅趕膠中的溶劑

      提高膠對襯底的黏附性

      提高膠的抗腐蝕能力

      優(yōu)化膠的光學吸收特性

      提高涂膠的均勻性

      提高條寬控制能力

      通過前烘,基片上的光刻膠基本固化。

      前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱性能:

      潔凈度:Class100;     

      溫度:RT+15~200℃;
      氣體:N2 

      計時功能:0-99H99M99S 

      設備材質:內(nèi)部SUS304不銹鋼           

      工作尺寸(mm):

      450×450×450

      500×500×550

      (可定制)          

      網(wǎng)板:活動式2塊

      前烘氮氣烘箱,潔凈烘箱適用性:

      氮氣烘箱也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研.


      真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱技術參數(shù)
      溫度范圍: RT ~300/450/550℃;
      溫度波動度:≤±1

      升溫速度:0-10℃/min;
      降溫方式:自然降溫或風冷+水冷降溫

      氮氣控制: 可調試流量計控制
      氧含量檢測:201000ppm

      工作尺寸:W350×H350×D400,

      高溫無氧真空烘箱溫控系統(tǒng):
      操作界面:人機界面+PLC,可一鍵運行,多個工藝編輯;
      溫度測量:K型熱偶;

      控制儀表:高精度溫度控制器,PID調節(jié),控制精度0.1℃,


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