加工半導體用烤箱， SECS / GEM無塵烤箱

加工半導體用烤箱， SECS / GEM無塵烤箱簡介

       加工半導體用烤箱， SECS / GEM無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后固化、堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

      智能無塵烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監控和控制。

特點

全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
采用水平送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*溫度控制精度。

?智能制造主要指生產線現場的生產過程管理、現場監控和控制等，包括智能工廠生產過程的數據采集及分析，實現生產過程、設備、資源監控的可操作和可視化；要能支持采集不同現場設備數據的要求，支持將生產數據及設備故障信息顯示在監控站的屏幕上，實現生產過程的動態監控與管理；實現智能設備、機器人和生產線、用戶全流程互聯對話，實現人機、機機互聯下的高品質、高效、柔性自動化生產等。

技術參數

無塵等級：Class 10/100/1000;     
溫度均勻度：±2℃;    
溫度波動度：±0.5℃（空載）；        
溫控精度：±0.1℃;
進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;
排風口： φ3”排風管（外接φ5＂法蘭）;       
電源：380v , 50Hz，
網板：2-5層 , 單層載重量可需承重50kg；
潔凈度：100、10級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100/10級潔凈度。

控制器

  高性能程序控制器PF900 TOPPAGE

一目了然、直觀的顯示  
搭載了新的控制算法「RSS(升降溫?恒溫?穩定)」  
程序程式輸出功能(多3點)  
大容量 多1024段程序  
雙模式信號輸出  
對應各種狀況(程式終止狀態、等待判斷等)  
綜合管理大量的設定值，存儲組功能  
程序聯合運行功能(控制器間的通信)  
前面板接口通信+程序設定工具